承漏盘半导体的档次可以从材质、制造工艺、耐用度以及功能性等方面进行划分。 1. 材质:高档承漏盘半导体通常采用高性能的耐腐蚀材料,如特种塑料或特种金属,以确保长期稳定运行。中档产品可能使用标准工业塑料或金属,而低档产品则可能选用成本较低的材料。 2. 制造工艺:高端承漏盘半导体在制造过程中会...
金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,江苏拓征半导体科技有限公司取得一项名为“承漏盘”的专利,授权公告号CN222911135U,申请日期为2024年08月。 专利摘要显示,本实用新型公开了一种承漏盘,涉及排水技术领域,其中,承漏盘包括:盘体、多个夹持件、多个固定件;盘体具有向上开口设置的承漏槽,所述盘体...
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摘要: 本实用新型提供一种承漏盘以及晶圆刻蚀系统,所述承漏盘包括底壁以及由所述底壁边缘向外延伸的多个侧壁,所述底壁与所述多个侧壁形成一个具有开口的容置空间,所述容置空间用以承接从晶圆上滴下的酸液或杂质颗粒。通过本实用新型提供的承漏盘以及晶圆刻蚀系统,能提高晶圆刻蚀与清洗的生产效率,降低成本。
本实用新型提供的承漏盘以及晶圆刻蚀系统,晶圆从酸槽中移出后,经过承漏盘 的一侧壁、承漏盘的底壁、承漏盘的另一侧壁,移至水槽中。由于重力作用,滴在承漏盘侧壁 上的酸液或者杂质颗粒将沿着承漏盘的侧壁迅速滑至承漏盘的底壁,不会在承漏盘的侧壁 产生积聚,因此,将不会发生酸液或者杂质颗粒从承漏盘侧...
承盘补偿器就是为解决这一问题而设计的,它能够吸收管道因温度变化而产生的伸缩变形,确保管道系统的稳定性和安全性。 而承盘补漏器,则侧重于“补漏”。在管道连接处,由于材料、施工等因素的影响,可能会出现渗漏问题。承盘补漏器通过增强连接处的密封性能,有效防止了渗...
5.一种用于晶圆刻蚀系统的承漏盘,包括左承漏盘和右承漏盘,所述左承漏盘由底板a和侧板a连接成矩形凹槽结构,所述底板a下方固接有四个支撑腿a,所述底板a一角开设有一个排液孔a,所述左承漏盘一侧开设有向内凹进的矩形通孔,所述开设通孔一侧的侧板a开设有安装孔a,所述右承漏盘由底板b和侧板b连接成矩形...
金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,江苏拓征半导体科技有限公司取得一项名为“承漏盘”的专利,授权公告号CN222911135U,申请日期为2024年08月。 专利摘要显示,本实用新型公开了一种承漏盘,涉及排水技术领域,其中,承漏盘包括:盘体、多个夹持件、多个固定件;盘体具有向上开口设置的承漏槽,所述盘体...
金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,江苏拓征半导体科技有限公司取得一项名为“承漏盘”的专利,授权公告号CN222911135U,申请日期为2024年08月。 专利摘要显示,本实用新型公开了一种承漏盘,涉及排水技术领域,其中,承漏盘包括:盘体、多个夹持件、多个固定件;盘体具有向上开口设置的承漏槽,所述盘体...
金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,江苏拓征半导体科技有限公司取得一项名为“承漏盘”的专利,授权公告号CN222911135U,申请日期为2024年08月。 专利摘要显示,本实用新型公开了一种承漏盘,涉及排水技术领域,其中,承漏盘包括:盘体、多个夹持件、多个固定件;盘体具有向上开口设置的承漏槽,所述盘体...