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扫描电镜分辨率定义为能够清楚地分辨试样上最小细节的能力,通常以清楚地分辨二次电子图象上两点或两个细节之间的最小距离表示,如下图示。 1.分辨率和放大倍数 1.分辨率和放大倍数 分辨能力是SEM最重要的性能指标,目前,钨灯丝SEM二次电子像的分辨率为3nm~6nm,但是,这不是日常工作能实现的,只是验收指标,它与观察条件...
物镜光阑安装在SEM物镜的上方，是一根金属杆，用于固定一块含有四个孔的金属薄板。在它上面装有一个更薄的矩形金属板，上面有不同大小的孔（光阑）。通过前后移动机械臂，可以将不同大小的孔放入光束路径中。这都限于老式扫描电镜，现代电镜通过静电偏转到想要的孔，不是机械移动。图11 机械臂上有一个细金属条，...
🌈 EDS面分析(面扫描) 面扫描是使电子束在试样表面观察区扫描,所定义的感兴趣元素在显示器上以不同颜色的点分别显示出分布图像,并且与采集的二次电子图象相对应,直观明了,点越多、亮度越亮,说明元素含量越高。面分析的灵敏度比点、线分析都低,面扫描需要较长时间收集信号,才能得到比较好的效果,它也是一种定...
物镜光阑安装在SEM物镜的上方，是一根金属杆，用于固定一块含有四个孔的金属薄板。在它上面装有一个更薄的矩形金属板，上面有不同大小的孔(光阑)。通过前后移动机械臂，可以将不同大小的孔放入光束路径中。这都限于老式扫描电镜，现代电镜通过静电偏转到想要的孔，不是机械移动。大光阑可用于低倍成像以增加信号，...
扫描电镜分辨率定义为能够清楚地分辨试样上最小细节的能力,通常以清楚地分辨二次电子图象上两点或两个细节之间的最小距离表示,如下图示。 1.分辨率和放大倍数 1.分辨率和放大倍数 分辨能力是SEM最重要的性能指标,目前,钨灯丝SEM二次电子像的分辨率为3nm~6nm,但是,这不是日常工作能实现的,只是验收指标,它与观察条件...
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