综上,泽攸科技ZEM20台式扫描电镜可直接成像硅片表面粗糙度与划痕情况,清晰呈现芯片微区关键结构,是半导体材料与器件微观形貌表征与质量检测的有力工具,可广泛应用于微电子领域的科研与生产过程,为我国半导体设备的自主可控提供坚实支撑。