首先,它能够快速测量表面粗糙度,通过计算平均粗糙度(Ra)来评估薄膜的均匀性,这对优化成膜工艺(如旋涂速度或退火条件)至关重要。其次,它可以识别微米级的缺陷,例如裂纹、孔洞或晶界处的台阶结构,帮助定位工艺中的问题。实际操作中需要注意几个关键点。样品准备需保持表面清洁干燥,避免污染物干扰信号。若薄膜脆弱或易...
光谱共聚焦显微镜通过光谱共焦技术,为钙钛矿薄膜的表征提供了独特的解决方案。其核心在于利用光谱共焦技术,逐点扫描样品表面,构建三维形貌图(如粗糙度、台阶高度)。 在实际应用中,这种技术特别适合评估成膜工艺的优化效果。例如,通过对比不同退火温度处理的薄膜,可观察到低温退火可能导致表面孔洞增多、粗糙度上升,这些结...
电子束蒸发镀膜(EBE)是利用电子束把固体材料加热至其蒸汽态,然后沉积在底板表面形成薄膜的一种技术。EBE技术主要包括电子枪、电源、热源、透镜系统和真空系统等组成部分。电子束蒸发镀膜EBE主要用于芯片制造中的金属化工艺环节。具体来说,它主要用于制造 MOSFET(金属-氧化物-半导体场效应晶体管)中的金属电极和导线,以及...