电铸金属模具:采用电铸技术制作的金属模具,可充当模板制作聚合物或玻璃芯片。模具线宽20μm以上可控,高度5μm以上可控。该模具成本较低,寿命在数百次以上,可满足中试阶段需求。 一、简介 微加工的成本成为限制微流控芯片产业化的一大因素,注塑将成为解决这个问题的最优途径。国内传统的模具加工技术主要集中在100μm以上的模具结构
摘要: 以具有超疏水性的荷叶、梭鱼草为研究对象,用扫描电镜对两种植物表面微结构进行表征,观察其形貌;采用磁控溅射仪对其表面进行导电处理;利用电铸工艺对其进行电铸.实验结果表明:电铸的微模具具有与样品对称的纹理,实现了微细结构镜像转移. 暂无资源 收藏 引用 分享 推荐文章 电铸与电弧喷涂相结合的模具制造方法 ...
采用掩膜电化学刻蚀和微电铸相结合的方法,制作出了结合力较好的镍基双十字微流控芯片模具.针对掩膜电化学刻蚀的工艺参数进行了试验研究,选定了制作微流控芯片模具的最佳工艺参数,解决了酸洗引起胶膜脱落失效、刻蚀引起侧蚀等问题.使用剪切强度表征界面结合强度,运用剪切法测量了微电铸层与基底的剪切强度,定...
实用电铸技术 第二2版 刘仁志 复杂精细构件生产工艺技术书模具制造方法微机电系统MEMS制造微系统制造电铸技术书籍9787122442994化学工业出版社 金卫图书专营店 关注店铺 评分详细 商品评价: 4.9 高 物流履约: 4.4 中 售后服务: 4.6 高 400-610-1360转111796 ...
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微电铸,又称精密电铸,是一种全新的微细加工技术.它结合了传统电铸工艺和集成电路制作技术的特点,广泛地应用于微器件和微结构的制作工艺之中,成为LIGA和UV-LIGA的核心工艺.研究微电铸技术在制作微流控芯片热压模具中的工艺问题,对提高热压成形模具的精度指标具有重大的意义.本文综述了微电铸技术的产生、发展、应用情况...
后者金属制品通过以下步骤制造制备用于微细电铸的模具,该模具包括具有与其平面形状相应的微细形状的电极部分;使该模具的电极部分用作阴极;通过电铸使金属薄膜选择性地生长在其表面上;然后将生长出的该金属薄膜从该电极部分上剥离,并回收该剥离的金属薄膜。 用于这种方法的微细电铸用模具的一个例子是通过如下步骤获得的...
1.利用激光对绝缘玻璃的减材刻蚀获得电铸模具,可以显著提高电铸成型精度;沉积完成后加入boe蚀刻液再去除玻璃模具,能够实现无损脱模,因此可以制造更加复杂的微细金属零件。 2.玻璃模具的减材加工和金属零件的增材沉积采用相同的加工轨迹和执行代码,可以最大限度减小零件的制造误差;利用层层叠加的方法逐层沉积,解决了以往...