微机电系统(MEMS)是通过半导体工艺将机械结构与电子电路集成在单一芯片上的三维可动微结构技术,其核心价值在于实现感知、控制与执行功能的微型化与智能化。作为微电子与精密机械的交叉学科,该技术已在消费电子、汽车工业、生物医疗等领域形成规模化应用,并持续向智能系统与纳米级器件演进。 一...
通用术语和定义 微机电系统 micro-electromechanical systems;MEMS 基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。 注:微传感器、微执行器、微流控器件、微能源等,以及与信号处理、控制等电路的集成。微机…
《微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》是2025年4月1日开始实施的一项中国国家标准。编制进程 2024年9月29日，《微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》发布。2025年4月1日，《微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》实施。起草工作...
让这一切成为可能的是硅超声技术,该技术使用一种微机电系统 (MEMS) 构建,将 4,000 到 9,000 个传感器(将电信号转换为声波并再次转换回来的设备)填充到 2 x 3 厘米的硅芯片上。通过将 MEMS 传感器技术与复杂的电子器件集成在单个芯片上,这些扫描仪不仅可...
《微机电技术》是2014年西安电子科技大学出版社出版的图书，作者是田文超、娄利飞。内容简介 本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用，包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用RF MEMS及重构天线MEMS力学问题等。书中包含大量图、表，研究成果及相关结论，内容丰富。本书可供高年级本科生和...
行业:仪器仪表/工业自动化电子技术/半导体/集成电路通信/电信/网络设备智能设备计算机硬件人工智能 全称:中科微机电技术(北京)有限公司。 发展阶段 排名:北京机电人气排名第197名 荣誉:科技型中小企业中关村高新技术企业根据算法标注 工资:87%的岗位拿15-50K。
LIGA技术为MEMS技术提供了一种新的加工手段。利用LIGA技术可以制造出由各种金属、塑料和陶瓷零件组成的三维微机电系统,而用它制造的器件结构具有深宽比大、结构精细、侧壁陡峭、表面光滑等特点,这些都是其它微加工工艺很难达到的。 2.硅基MEMS技术 以硅为基础的微机械加工工艺也分为多种,传统上往往将其归纳为两大...
微机电系统技术是面向21世纪的新兴科技,是一项革命性的新技术。 作为多学科交叉的前沿技术,微机电系统技术融合了电子、机械、材料、制造、检测,以及物理、化学、能源、生物、医学等多种学科与技术,在国家重大战略规划“中国制造2025”、“2035远景目标纲要”和“工业4.0”中发挥着关键作用,关系到国家的科技发展、经济繁...
一、 MEMS技术的定义和发展现状 MEMS技术是指微机电系统技术，是将微小的机械元件、传感器、执行器、电子电路等集成在一起，形成具有智能化的微小系统，这些系统通常具有高精度、高灵敏度和高可靠性等优点，能够广泛应用于生物医学、航空航天、电子信息、能源和环境等领域。MEMS技术从20世纪60年代开始发展，1974年被正式...