爱采购为您精选160条热销货源,为您提供超声换能器优质商品、超声换能器详情参数,超声换能器厂家,实时价格,图片大全等
免费查询更多pmut微机械超声换能器详细参数、实时报价、行情走势、优质商品批发/供应信息等,您还可以发布询价信息。
微机械超声换能器(MUT)是利用MEMS技术制作的设备。主要分为电容式(CMUT)和压电式(PMUT)两种,各有优势。相比传统换能器,MUT体积小、成本低、功耗低、频率控制灵活,并易于与电路集成。随着技术进步和产业链完善,MUT有望成为传统换能器的替代品。与传统换能器...
近些年,基于MEMS技术的压电式微机械超声换能器(PMUT)和电容式微机械超声换能器(CMUT)产品接连面世并成功应用于智能手机、平板电脑、汽车、无人机、机器人、智能家居、医疗器械等。预计未来五年MUT市场的复合年增长率(CAGR)超过25%,到2028年将接近20亿美元。 超声换能器横截面结构示意图:(a)块体型压电超声换能器;...
压电微机械超声换能器,(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer,PMUT)是一类通过压电材料的正逆压电效应使压电薄膜振动,从而发射或者接收超声波信号的MEMS器件。当PMUT用于发射超声波时,它是一个执行器;当PMUT用于接收超声波时,它是一个传感器。
根据工作原理与加工方式的不同,可将超声换能器分为压电陶瓷超声换能器(Piezoelectric-ceramic Ultrasonic Transducers, PUT)、电容式微机械超声换能器(Capacitive Micro-machined Ultrasonic Transducers, CMUT)和压电式微机械超声换能器(Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers, PMUT)。
根据工作原理与加工方式的不同,可将超声换能器分为压电陶瓷超声换能器(Piezoelectric-ceramic Ultrasonic Transducers, PUT)、电容式微机械超声换能器(Capacitive Micro-machined Ultrasonic Transducers, CMUT)和压电式微机械超声换能器(Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers, PMUT)。
CMUT电容式微机械超声换能器 CMUT首先由M.I.Haller提出。CMUT 换能器是由多层结构和多层材料构成。CMUT电容单元结构如图 2 所示,从上到下依次为金属铝上电极氧化硅电气隔离层、绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)晶圆顶层硅制成的振动膜、在氧化硅上蚀刻的真空腔、氧化硅隔离层、硅衬底和金属铝底电极。在外界...
一、电容式微机械超声换能器的工作机理 电容式微机械超声换能器是基于微机械加工技术制造的高精度传感器。其主要由金属等导电材料制成的两层平行板构成,其中一层固定在基座上,另一层则与活动部件相连,并能通过微机械加工技术实现微小的振动。当超声波通过介质...
电容式微机械超声换能器 (CMUT) 是一种微型接收器,可以将超声波转换为用于高分辨率成像应用的电信号。这种 CMUT 设计具有优化的力-位移特性,以提高转换效率。改进的核心是位移均匀性因子,可以通过“频域,预应力”研究进行计算。这种特殊的设计可以改进基于压电换能器的成熟医学成像技术,有望在实现小型化的同时具有更...