壓電噴墨製程技術為直接輸出技術的一種,配合精密對位系統與可適用多種墨水材料的特性,可以改善與替代半導體製程部分步驟,應用於3D IC產業晶圓接合上具有開發潛力.為了達到微接點製程低溫化,使用奈米墨水材料進行微接點接合成為發展重點,因此,針對奈米墨水材料的轉移品質進行研究,並且探討噴印厚度對微接點的強度,電性影響...