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基于MEMS技术的微型传感器开发及其在结构健康监测(SHM)中的应用是一个具有广泛前景的研究领域。MEMS(微机电系统)技术通过将微型传感器、执行器和信号处理电路集成在一块硅片上,实现了传感器的小型化、集成化和智能化,这使得MEMS传感器在SHM中得到了广泛应用。 MEMS技术在微型传感器中的优势 MEMS传感器具有体积小、功耗低...
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本节将对微型传感器在汽车中的主要应用方向进行分析,它们包括安全系统、提高舒适性/方便性/防盗、发动机/驱动链以及车辆监控和自诊断等四个方面。 安全气囊目前是而且将来也是MEMS的一个主要应用。所用的硅基加速度计的量程一般为50g。除了ADI公司外,一般的加速度计仍由多芯片组件构成,提供经过调理的信号。ADI则采用...