开发VCSELs 的高功率应用潜能势在必行。 高功率 VCSELs 中 ,980 nm 激光是一个非常 重要的波段。980 nm 是掺铒光纤放大器的泵浦 源,在光通信中有极为重要的应用。980 nm 还是 掺镒光纤激光器的泵浦源。另外可以利用它来替 代边发射半导体激光器泵浦固体激光器[4 ] ,获得 ...
如图6所示,本发明的一种底部发射型VCSEL芯片,包括GaAs衬底100和位于GaAs衬底100一侧的外延结构,GaAs衬底100底部蚀刻有出光孔160,GaAs衬底100上于出光孔160外围蒸镀有N-contact层210,N-contact层生成使用的材料可以是但不限于AuGe和Au,外延结构包括由下至上依次沉积的N-DBR结构110、氧化层120、量子阱130、P-DBR结构1...
【摘要】研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器, 并分析了器件特性.通过增加有源区面积, 改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO 2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率.分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系.结果表明:有源区直径分别为500μm和600μm的单管, 室温下均达到连...
摘要:研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采 用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注 入电流之间的依赖关系。结果表明:有源区直径分别为500μm和600μm的单管,室温下均达到连续输...
1) high power bottom emitting VCSEL 大功率底发射VCSEL2) VCSEL transmit VCSEL管发射3) high-power transmitting 大功率发射 1. A method of long-time working and high-power transmitting is studied and presented to improve the efficiency of wireless transmitting which is applied to emergency rescue...