芯片制造也是一样。干涉光刻就像是用光来雕刻芯片上的图案，但受限于“刻刀”（也就是光束口径）的大小，一次只能刻一小块。想刻更大的芯片？那就得一块一块“拼接”着刻。问题来了，怎么保证每一块都严丝合缝？这就是清华团队要解决的问题——全局对准。知道为啥芯片制造这么难吗？不是因为技术有多复杂，而是...
干涉光刻,是一种无需用到复杂的光学系统或光掩膜而制备精细结构的技术。作为一项比较可靠的图形产生技术,干涉光刻不但在CD控制方面具有很好的表现,而且其工艺宽容度与传统一般相比也较大,还能够产生具有陡的侧壁、大的深宽比和深亚微米尺寸的抗蚀剂结构阵列图形,这样的形状结构在图形转移和器件制造过程当中都能够有非...
干涉光刻,是一种无需用到复杂的光学系统或光掩膜而制备精细结构的技术。作为一项比较可靠的图形产生技术,干涉光刻不但在CD控制方面具有很好的表现,而且其工艺宽容度与传统一般相比也较大,还能够产生具有陡的侧壁、大的深宽比和深亚微米尺寸的抗蚀剂结构阵列图形,这样的形状结构在图形转移和器件制造过程当中都能够有非...
3.3 实时反馈控制系统 开发基于FPGA的纳秒级束流校正系统,实现干涉条纹的实时动态补偿。 四、技术发展前景预测 随着单电子探测技术和量子调控技术的发展,电子束干涉光刻有望在5-8年内实现10nm以下节点的量产应用,为下一代集成电路制造提供关键技术支撑。 老板...
清华大学在激光干涉光刻全局对准领域取得新进展 衍射光栅广泛应用于精密测量、激光脉冲压缩、光谱分析等领域。干涉光刻作为一种无掩膜曝光光刻方法,在衍射光栅加工制造方面具有高效率、高灵活度的优势。但干涉光刻加工的光栅尺寸在原理上受到曝光系统光束口径的限制,而增大光路系统中光学元件的口径具有现实困难。面对该难题,...
🌈 干涉光刻,一个充满魔法般光影的技术,它不仅仅是光与胶的简单相遇,而是光波在空间中的巧妙交织。当两束或多束相干光波相遇,它们会编织出令人惊叹的干涉图样,这些图样成为光刻胶上图案的蓝图。🔬 干涉光刻的核心在于光的干涉原理。在双光束干涉的框架下,干涉条纹的间距与光波波长及光束夹角之间有着严格的数学关...
【摘要】干涉光刻,是一种无需用到复杂的光学系统或光掩膜而制备精细结构的技术。 干涉光刻,是一种无需用到复杂的光学系统或光掩膜而制备精细结构的技术。作为一项比较可靠的图形产生技术,干涉光刻不但在CD控制方面具有很好的表现,而且其工艺宽容度与传统一般相比也较大,还能够产生具有陡的侧壁、大的深宽比和深亚微...
🤔你是否曾好奇干涉光刻与全息光刻之间的区别?它们其实是一种特殊的光刻手段,有着独特的应用和特点。🔍首先,干涉光刻的基本原理与干涉测量法或全息法的原理相似。两个及以上的相干光波形成一个干涉图样,利用这个干涉图形对光刻胶进行曝光,从而形成所需的图形。这种光刻技术利用了光场干涉相长及干涉相消形成光照区...
干涉光刻可实现纳米级的图案精度。光路的设计要考虑多种因素以优化性能。温度对液体介质和光刻过程有一定影响。振动会干扰光刻的准确性。系统的校准是获得良好结果的前提。 不同的干涉模式可产生不同的图案效果。浸没式有助于减少像差。光的偏振状态在光刻中具有重要意义。系统的对准精度直接关系到图案的位置精度。液体...
激光干涉光刻直光学镜头是一种高精度的光刻设备,其原理是利用激光干涉来进行光刻,从而实现高精度的芯片制造。具体来说,激光干涉光刻直光学镜头主要包括激光器、反射镜、光刻光学系统等组成部分。其中,激光器产生激光束,反射镜将激光束反射到光刻光学系统...