化学性刻蚀(等离子体刻蚀Plasma Etching PE)就需要化学清洗,化学性刻蚀是一种利用化学反应去除材料表面的工艺,但是每次刻蚀之后,都需要对反应室进行清洗和除去残留物,化学清洗是一种高效的清洗方法,通过在反应室内通入酸碱等化学试剂进行化学反应,清除反应室内的污染物。 等离子刻蚀(Plasma etch)是一种绝对化学刻蚀工艺(...
按照工艺划分,刻蚀主要分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类。湿法刻蚀:湿法刻蚀主要利用化学试剂与被刻蚀材料发生化学反应进行刻蚀,由于采用化学方法刻蚀,因此其刻蚀是各向同性的(横向纵向的材料均会被腐蚀),侧壁容易产生横向刻蚀造成刻蚀偏差,通常用于工艺尺寸较大的应用(局限于3μm以上的图形尺寸);此外,湿法刻蚀还存在后续冲...