压阻式压力传感器也就此诞生。后续伴随硅扩散技术、各项异性的腐蚀技术以及80年代后的微加工技术,逐步将压力传感器带上微米级、大批量的发展阶段。 压力传感器的主要生产工序为粘片-绑定-膜片焊接-充油-密封-压力冲击-老化-补偿测试-调阻-检验等等。就传感器本身而言,并不存在绝对的好坏,但其生产工艺水平对性能有着...