在当今高度发达的半导体工业中,芯片制造工艺已进入纳米级时代,晶体管尺寸的不断缩小使得一些原本可以忽略的二级效应变得至关重要。其中,LOD效应(全称为Length of Diffusion effect,扩散区长度效应)就是深亚微米工艺中不可忽视的关键物理效应之一。LOD效应是指在相同栅极长度(Gate Length)和栅极宽度(Gate Widt