劣势:分辨率及放大倍数较透镜差一些,造价及维护费用较光学显微镜高。三者都有相应的放大系统和样品台及试样架,不同之处在与TEM和SEM是通过电路放大,并且都需要在真空环境中,光学显微镜是通过光路放大。扫描电镜具有信号收集和显示系统,有扫描线圈做规律的扫描。