摘要 针对复杂结构对准标记仿真需求,联合严格耦合波法和分层近似法提出一种对准标记鲁棒性分析方法。利用该方法构建仿真模型:以晶圆质量和信噪比为评价函数,研究了标记槽深、槽宽、膜层厚度和侧壁对称变形等参数变化对标记鲁棒性的影响;以...展开更多 Objective With the continuously shrinking lithography process nodes...