东莞电子科技大学电子信息工程研究院; 广东东莞 523808; 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 成都610054;
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 成都610054; 东莞电子科技大学电子信息工程研究院; 东莞523808; 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 成都610054;