光刻机技术是半导体制造过程中的一种核心技术,其发展水平直接影响到半导体行业的竞争力和发展速度。目前,随着人工智能、云计算等技术的飞速发展,半导体行业也面临着更高的要求和更大的挑战,而光刻机技术的发展也在不断地突破和创新。光刻机技术的革新 1. 多重曝光技术:通过多次曝光和图像叠加,将线宽缩小至原来...