一种常见的多晶硅层形成方法包括提供一衬底,该衬底上形成有第一氧化层和第一氮化层,然后通过刻蚀降低STI结构的高度,使第一氮化层露出,接着在第一氮化层上形成多晶硅层。这种方法可以实现多晶硅层的精确控制和均匀性,从而提高器件的性能和稳定性。 总之,多晶硅层是...
专利摘要显示,本公开公开 TBC 太阳能电池及其制备方法,TBC 太阳能电池的制备方法包括:对 N 型硅衬底清洗抛光;背面沉积第一隧穿氧化层和第一本征多晶硅层;硼扩;激光开槽,刻蚀清洗;背面沉积第二隧穿层和第二本征多晶硅层;磷扩;激光开槽,刻蚀清洗;双面沉积氧化铝膜、减反膜;制备金属电极。本公开通过在掺...
除了上述作用外,多晶硅层还对场效应管的性能提升起到关键作用。通过优化多晶硅层的掺杂浓度、厚度等参数,可以改善场效应管的导通电阻、跨导等关键性能指标。这些性能的提升有助于降低电路功耗、提高工作频率和增强电路稳定性。 综上所述,多晶硅层在场效应管中发挥着举足轻重的作用。...
多晶硅是一种半导体材料,具有较高的电导率。在电子器件中,多晶硅层常被用作导电层,用于连接电路中的各个元件,实现电流的传输。由于多晶硅层具有较低的电阻,能够有效地减小电流的损耗,提高电路的效率。 多晶硅层具有优异的光学性能。多晶硅层对光的吸收和反射能力较强,因此在太阳能电池等光电器件中得到广泛应用。多晶硅...
首先,多晶硅层在半导体芯片的制造过程中起到了关键的保护作用。在芯片制造的过程中,多晶硅层被用来封装和保护芯片的核心部分。它可以有效地防止外界的湿气、灰尘、化学品等对芯片的侵蚀。同时,多晶硅层还可以减少芯片在温度变化时产生的热应力,从而保护芯片不被破裂或变形。 其次,多晶硅层在半导体芯片制造中还有助于提高...
薄二氧化硅刻蚀厚多晶硅层的过程,主要是利用化学反应或物理方法,精确地去除多晶硅层上的特定部分,以达到制造微小电子元件的目的。在这个过程中,二氧化硅层作为掩膜,保护下方的多晶硅不被刻蚀,从而形成所需的图案。 二、刻蚀方法 1. 湿法刻蚀:通过使用特定的化学溶液来去除未被二...
对于掺杂多晶硅层,一般有三种制备方法。其中有两种属于化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD) 方法:分别是LPCVD法和PECVD法。还有一种溅射法是属于物理气相沉积(physical vapor deposition, PVD) 方法。其中,LPCVD能同时完成氧化层、本征多晶硅层的制备,工业应用技术非常成熟。制备过程中仅需要在两者反应中间,...
首先,我们要明确的是,多晶硅层厚度对太阳能电池的光电转换效率有着直接的影响。一般来说,较厚的多晶硅层可以吸收更多的光子,从而产生更多的电子-空穴对,提高太阳能电池的电流。但是,随着多晶硅层厚度的增加,光生载流子在传输过程中会受到更多的散射和复合作用,导致电...
通威太阳能取得太阳能电池相关专利,避免掺杂多晶硅层被硅衬底短路 金融界2025年3月18日消息,国家知识产权局信息显示,通威太阳能(成都)有限公司取得一项名为“太阳能电池掺杂多晶硅层的测试结构以及硅片”的专利,授权公告号 CN 222619759 U,申请日期为2024年3月。专利摘要显示,本申请涉及一种太阳能电池掺杂多晶硅...
有源层和多晶硅层ESD放电保护天线效应消除 2013-7-14 VLSI原理和设计(1)2 简介 有源(active)层和多晶硅(poly)层是用来形成N沟道和P沟道MOS管。有源层与场区(非有源区)相对应场区,即生长场氧化(fieldoxide,FOX)的区域。场区的作用:1、布线(将电路各部分连接在一起)2、...