近日,复旦大学包文中课题组和多个研究团队合作,在《自然-通讯》杂志上发表了研究论文《基于机器学习辅助工艺优化二维半导体晶圆级电路制作》(“Wafer-Scale Functional Circuits Based on Two Dimensional Semiconductors with Fabrication Optimized by ...
近日,复旦大学包文中教授课题组利用机器学习 (ML) 算法优化了二维半导体(MoS2)顶栅场效应晶体管 (FET)的制备工艺,并采用工业标准设计流程和工艺进行了晶圆级器件与电路的制造和测试。文章以《Wafer-scale functional circuits based on two dimensional semiconductors with fabrication optimized by machine learning》为题发...
近日,复旦大学包文中教授课题组利用机器学习 (ML) 算法优化了二维半导体(MoS2)顶栅场效应晶体管 (FET)的制备工艺,并采用工业标准设计流程和工艺进行了晶圆级器件与电路的制造和测试。文章以《Wafer-scale functional circuits based on two dimensional semiconductors with fabrication optimized by machine learning》为题发...
复旦大学包文中课题组Nature子刊,小型台式无掩膜光刻机助力二维半导体集成电路工艺CODE: 引言 石墨烯的发现为人类打开了二维材料的大门,经历十多年的研究,二维材料表现出的各种优良性能越来越吸引科研学者。然而,在工业上大规模应用二维材料仍然存在着很多问题,所制成的器件不能符合工业标准。 【成果简介】 近日,复旦大学...
包文中课题组依托复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室先进的设计和测试硬件软件平台,同时课题组有独立的二维材料专用净化实验室(2D-Lab)。2D-Lab实验室专注于推动二维半导体材料在未来实际应用的关键技术与系统研究,包括晶圆级薄膜生长、分立器件工艺调控、器件建模和电路仿真,未来将聚焦于二维IC(包括数模、存储、射频...
复旦大学微电子学院包文中教授课题组主要的研究领域包括二维层状材料的能带调控、器件工艺及应用,包括二硫化钼(MoS2),黑磷等。近日,其课题组利用小型台式无掩膜光刻直写系统(MicroWriter ML3)在新型二维层状材料MoS2的器件制备、转移和应用等方面取得了一系列瞩目的研究成果: ...
包文中课题组依托复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室先进的设计和测试硬件软件平台,同时课题组有独立的二维材料专用净化实验室(2d-lab)。2d-lab实验室专注于推动二维半导体材料在未来实际应用的关键技术与系统研究,包括晶圆级薄膜生长、分立器件工艺调控、器件建模和电路仿真,未来将聚焦于二维ic(包括数模、存储、射频...