本发明提出一种基于差动共焦探测具有抗噪能力的高精度自动对焦方法及装置,该方法包括:产生对焦光束,经由凹透镜和电控变焦透镜组成的透镜组,与光学系统工作光束合束;对焦光束经对焦对象中的对焦平面反射,由原光路返回,再由分束镜反射入差分共焦探测机构进行光强测量;在测量过程中,对电控变焦透镜偏置高频周期性变化信号...
本发明提出一种基于差动共焦探测具有抗噪能力的高精度自动对焦方法及装置,该方法包括:产生对焦光束,经由凹透镜和电控变焦透镜组成的透镜组,与光学系统工作光束合束;对焦光束经对焦对象中的对焦平面反射,由原光路返回,再由分束镜反射入差分共焦探测机构进行光强测量;在测量过程中,对电控变焦透镜偏置高频周期性变化信号...