单晶硅纳米薄膜柔性器件单晶硅材料奠定了现代半导体工业的基础.单晶硅纳米薄膜因其纳米尺寸的厚度而具有不同于体硅材料的机械,光学,电学等性质,其中最显著的特点是高机械柔性以及可转移性.生物相容性以及与CMOS工艺兼容的特性使其在柔性电子领域得到广泛应用.本文综述了单晶硅纳米薄膜的性质,柔性器件的制备工艺以及作为柔性功...