在使用直拉法生产单晶硅的过程中,内层与硅溶液直接接触,石英坩埚的性能、安全性和稳定性直接影响到单晶硅的生长质量和成晶率。红外测温应用介绍:红外热像仪做为一种无接触、快速测温的的仪器,在单晶硅的生产过程中,可以对石英坩埚进行实时监测,具有生成温度分布图像、故障诊断和数据分析等功能。这些功能有助于确保石英坩埚在
采用直拉法制备单晶硅时,石英坩埚被用于装载多晶硅原料,并在高温下支持连续拉晶作业。其表现出的高耐温性和耐久性,确保了拉制出的硅棒具有优异的单晶品质。 二、探究石英坩埚的结构与性能 石英坩埚呈现为半透明状态,结构分为三个主要层次:外层、中间层...
因此,在高温、高强度的直拉法过程中,石墨坩埚能够保证单晶体的品质和产量。 三、石英坩埚 对于某些特殊要求的金属加工,如大直径单晶硅的生产,石英坩埚成为首选材质。石英坩埚具有高纯度、耐温性强等优点,能够满足高质量晶体生长的需要。在直拉法生产单晶硅的过程中,石英坩埚能够承受高达1420℃的熔融硅温度...
金融界2025年1月30日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市赛迈特新材料有限公司申请一项名为“一种冷坩埚法直拉法生长氧化镓单晶的方法”的专利,公开号CN 119372764 A,申请日期为2024年11月。专利摘要显示,本发明属于半导体晶圆制造技术领域,具体涉及一种冷坩埚法直拉法生长氧化镓单晶的方法,通过向坩埚内的氧化...
___直拉单晶制造法(乔赫拉尔斯基法,Czochralski,CZ法)是把原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单晶炉中加热融化,再将一根直径只有10mm的棒状晶种(称籽晶)浸入融液中,进行非均匀晶核。在合适的温度下,然后控制热场,将籽晶旋转并缓慢向上提拉,融液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶...
直拉法生长单晶硅时,坩埚的要求( )A.高物理稳定性,B.高强度C.杂质要求不高,D.不熔解或微熔的答案是什么.用刷刷题APP,拍照搜索答疑.刷刷题(shuashuati.com)是专业的大学职业搜题找答案,刷题练习的工具.一键将文档转化为在线题库手机刷题,以提高学习效率,是学习的生产力
本文详细阐述了在直拉法生长单晶硅过程中,石英坩埚所扮演的关键角色。石英坩埚以其高纯度、耐温性强等特点,成为支撑高温条件下连续拉晶的重要辅料,对单晶硅的生长质量和效率具有显著影响。
直拉法,作为一种常用的晶体生长技术,广泛应用于半导体、光学材料等领域。在这一过程中,坩埚的使用显得尤为重要。 首先,坩埚作为原材料熔化的容器,承载着熔化原料的重任。在直拉法过程中,原材料在高温下被熔化,形成液态,然后通过特定的技术手段,在籽晶的引导...
比较硅单晶锭CZ,MCZ和FZ三种生长方法的优缺点。答:CZ直拉法工艺成熟,可拉出大直径硅棒,是目前采用最多的硅棒生产方法。但直拉法中会使用到坩埚,而坩埚的使用会带来污染