国内冷氢化法四氯化硅加氢生产三氯氢硅研究现状 四氯化硅加氢催化剂冷氢化综合叙述了国内冷氢化法四氯化硅加氢生产三氯氢硅的热力学基本原理,加氢催化剂,生产工艺目前研究现状.doi:CNKI:SUN:FJHG.0.2017-09-087杨靖华[1,2]长春工业大学;吉林工学院;化学工程与装备...