制作半导体器件的方法,包括:a)提供半导体衬底,b)通过适当的注入在半导体衬底的顶层中制作第一非晶层,该第一非晶层具有第一深度,c)在半导体衬底中注入第一掺杂剂以便为第一非晶层提供第一掺杂轮廓,d)施加第一固相外延再生长操作以局部地再生长第一非晶层,并形成具有小于第一深度的第二深度的第二非晶层,以及激活第...
是什么意思 abbr. solid-phase epitaxial regrowth 固相外延再生长;Syndicat des Industries de Materiel Professionel Electronique et Radioelectrique (法语)电子,无线电器材工业公司; 学习怎么用 权威例句 Cardiovascular events during World Cup soccer. Prevalence of adrenal incidentaloma in a contemporary computerized...
制作半导体器件的方法,包括:a)提供半导体衬底,b)在半导体衬底的顶表面上提供绝缘层,c)通过适当的注入在所述半导体衬底的顶层中制作非晶层,d)通过所述绝缘层在所述半导体衬底中注入掺杂剂以便为所述非晶层提供预定的掺杂轮廓,执行所述注入使得所述掺杂轮廓具有位于所述绝缘层内的峰值,e)施加固相外延再生长操作以再...
制作半导体器件的方法,包括:a)提供半导体衬底,b)通过适当的注入在半导体衬底的顶层中制作第一非晶层,该第一非晶层具有第一深度,c)在半导体衬底中注入第一掺杂剂以便为第一非晶层提供第一掺杂轮廓,d)施加第一固相外延再生长操作以局部地再生长第一非晶层,并形成具有小于第一深度的第二深度的第二非晶层,以及激活第...
制作半导体器件的方法,包括:a)提供半导体衬底,b)在半导体衬底的顶表面上提供绝缘层,c)通过适当的注入在所述半导体衬底的顶层中制作非晶层,d)通过所述绝缘层在所述半导体衬底中注入掺杂剂以便为所述非晶层提供预定的掺杂轮廓,执行所述注入使得所述掺杂轮廓具有位于所述绝缘层内的峰值,e)施加固相外延再生长操作以再...
用于太阳能电池制造中的固相外延再生长的直流离子注入一种用于太阳能电池的离子注入的装置和方法.本公开提供了提高的产量,并且修复或消除了SPER退火步骤后的缺陷.利用连续高剂量的注入,衬底被连续注入,造成有效的缺陷累积(即非晶化),同时可抑制动态的自退火.M·春B·阿迪博...
制作半导体器件的方法,包括:a)提供半导体衬底,b)在半导体衬底的顶表面上提供绝缘层,c)通过适当的注入在所述半导体衬底的顶层中制作非晶层,d)通过所述绝缘层在所述半导体衬底中注入掺杂剂以便为所述非晶层提供预定的掺杂轮廓,执行所述注入使得所述掺杂轮廓具有位于所述绝缘层内的峰值,e)施加固相外延再生长操作以再...
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用于太阳能电池制造中的固相外延再生长的直流离子注入一种用于太阳能电池的离子注入的装置和方法.本公开提供了提高的产量,并且修复或消除了SPER退火步骤后的缺陷.利用连续高剂量的注入,衬底被连续注入,造成有效的缺陷累积(即非晶化),同时可抑制动态的自退火.M·春B·阿迪博...
用于太阳能电池制造中的固相外延再生长的直流离子注入一种用于太阳能电池的离子注入的装置和方法.本公开提供了提高的产量,并且修复或消除了SPER退火步骤后的缺陷.利用连续高剂量的注入,衬底被连续注入,造成有效的缺陷累积(即非晶化),同时可抑制动态的自退火.M·春B·阿迪博...