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四探针测试仪,数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备,该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。