但是在光外差干涉法中普遍存在着非线性(nonlinearity)问题,该因素将会是其位移测量的主要误差来源,使其精度一般只有纳米级至十几纳米,原因是频率不同的光束不能很好的分离,使得相位位移和实际被测长度不成线性关系。这些周期性的非线性误差问题一直是该激光外差干涉发展的障碍。 3 F-P干涉检测技术: 基于多光束干涉原理的F-P干涉仪
对于零差干涉:采用快速扫描和精确波长控制技术,如昊量光电的quDIS系统所示,可以有效抑制因信号对比度变化而引发的周期性误差。对于外差干涉:利用频率追踪技术,理论上可实现高分辨率,并通过饱和吸收气室设计精确控制波长,显著减少非线性误差的影响。采用其他干涉方法:FP干涉:以其绝对距离测量的优势,通过...
首先,零差干涉,如迈克尔逊干涉仪,对激光频率稳定性要求极高。尽管其精度高,但安装调试复杂且易受环境影响,非线性误差由此产生。为了优化,昊量光电的quDIS采用了一种创新策略,通过快速扫描和精确波长控制,有效抑制了因信号对比度变化而引发的周期性误差。其次,外差干涉采用双频干涉,虽然可以达到纳米...
1 外差激光干涉仪中的周期非线性误差形成机理在外差激光干涉仪中,根据误差来源不同,周期非线性误差可以分为两类:第1类周期非线性误差来源于共光路的测量光、参考光无法完全分离引起的“双频激光交叉混叠”,第2类周期非线性误差来源于主要测量光束引起的部分虚反射光束的“多阶多普勒频移虚反射光束自混叠”.下面详细分...
差引起的。(3)线性度。通常用非线性误差的大小表示数/模转换器的线性度。(4)输岀电压(或电流)的 建立时间。 24:模拟量、转换为数字量的方法很多,目前用的较多的是逐次___ 25:多路模拟开关环节通常在微机控制的检测系统中,要采用多路信号,为了减少检测通道的设备,而使 多个信号的采样共同...
注意:即便线性方程对对观测数据拟合相当好,但有关误差项的独立性和方差假设有可能被破坏。原因是时间序列的数据误差项往往不独立,误差项大小有可能根据数据总体的大小而变化,意思就是,即便适合这个样本的观测量的方程,但是,不适合总体。根据经验,人口增长模型不能被转化为线性模型,所以,可以利用曲线回归或者非线性回归...
更多“在某些非线性系统中,随着时间的增大,误差的累积而使系统响应接近固定幅度的周期解,就形成了极限环,也叫自振。()”相关的问题 第1题 非线性系统的全响应必等于零状态响应与零输入响应之和。( ) 此题为判断题(对,错)。 点击查看答案 第2题 稳定性与稳态误差的关系。 (2)非线性系统的特点。 点击...
在涉及纳米/亚纳米级别的的微位移测量中,激光干涉法因具有可溯源性,非接触性,可分辨率高等特点。在纳米级别的精密测量中占有绝对地位,本文将针对常见的激光干涉方式进行介绍,并针对对应出现的误差做了简单的分析。 非线性周期性误差是广泛存在于各类测量设备中,在纳米级别的测量中其导致的误差经常使得实验数据失效。形成...
激光干涉中周期性非线性误差的思考 位移是Z基本的几何参量之一,因其容易检测、且相对检测准确度高,所以在许多情况下将被测对象的物理量转换为位移量是十分实用的解决方式。在涉及纳米/亚纳米级别的的微位移测量中,激光干涉法因具有可溯源性,非接触性,可分辨率高等特点。在纳米级别的精密测量中占有绝对地位,本文将针对...