课题组长:吴晓斌研究员,光电中心副主任,博士生导师,微电子所学术委员会委员、学位委员会委员,现任国家02 专项光刻机工程指挥部专家。2009年至今长期从事光刻机与极紫外光刻的研发工作,先后承担国家重大科技专项02专项、国家自然科学基金、中科院先导专项在内的 10 余项项目。 2.【 研究方向 】 光刻机是我国集成电路...