1. 样品浸泡方向:样品测试面朝上刻蚀后,在台阶上测试的图像基准面线路水平,膜层刻蚀干净,与膜层面线路平行,形成台阶效果好,测试数据平行度好,偏差小,重现性高。而测试面朝下刻蚀的样品,结果差。 2. 胶带粘贴方式:采用粘贴胶带后直接刻蚀样品的方法,测试结果偏差较大,数据波动大,重现性差,测试效果不理想。而采用...
台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。 测量原理 其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触...
台阶仪的测量原理是一种等高线测量方式,即利用建筑物的地势高低差,将垂直高度差作为量测要素进行测量。其工作原理如下: 1.测量基准点的设定 在使用台阶仪进行高度差测量之前,必须先设置测量基准点,以确保测量的准确性和可靠性。 2.台阶仪的测量 当基准线已设定好,测量者将台阶仪放置在需要测量的高度差的地方,从基...
台阶仪是一种常见的薄膜厚度测试仪器,其主要原理是通过测量光学薄膜的光学常数来确定其厚度。在薄膜制备过程中,准确测量薄膜的厚度对于判断薄膜的生长速率、晶体质量和电学性能等方面具有非常重要的作用。 二、结构和工作原理 1.结构 台阶仪由光源、探测器、单色器、样品架和电子控制板等组成。其中光源和探测...
台阶仪膜厚测量的基本原理是利用Sagnac干涉仪和紫外线激光共同工作对薄膜的厚度进行测量。Sagnac干涉仪用于指示台阶仪底座的角度,紫外线激光则发射向薄膜表面的光束。当光线照射在薄膜表面时,一部分光线被反射,一部分光线穿透到膜下面。在穿透反射过程中,膜表面和衬底之间形成了一段被称为Fabry-Perot铅垂常分明带(Airy...
台阶仪是一种测量表面粗糙度和结合力的仪器,它利用光学原理来测试材料表面的微观形貌.台阶仪具有高精度,高静态和动态分辨率,快速扫描和三维成像等优点. 二,薄膜结合测试原理 薄膜结合测试是用来评估薄膜和基底之间结合强度的一种测试方法,通常使用划痕实验,拉伸实验或剥离实验等方法.而在这些方法中,剥离实...
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LSI 膜厚,台阶测试仪的原理,现状及其应用 王云庆; 李庆祥 【期刊名称】《《LSI 制造与测试》》 【年(卷),期】1993(014)002 【总页数】8 页(P22-28,32) 【作者】王云庆; 李庆祥 【作者单位】不详 【正文语种】中文 【中图分类】TN470.5 【相关文献】 1.触针对 LSI 生产中膜台阶表面测量的影响 [J], 王...
KLA 探针式台阶仪 P7-台阶仪原理 新耕(上海)贸易有限公司 仪器种类:半导体专用检测仪器设备型号: P7详细参数和报价 申请演示 询价 产品简介 P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙...