光阑片一般可以设计成单圆弧、双圆弧和等转角可变光阑。在有些情况下,也可以通过作图法设计或直接查表。但是,按查表画出的光阑片是一种最窄的极限状态,这种光阑片数量多,加工和装配都很不方便。 实际上,一般镜头结构允许光阑片有较大的外径。在这种情况下,加宽光阑片,就可以减少光阑片片数。因此,必须修正选取的...
光刻投影物镜的可变光阑主要由横通槽、传动机构和光阑片组成。横通槽是光刻机中的一个空腔,用来容纳光阑片。传动机构通过齿轮和导轨系统,使得光阑片能够在横通槽内移动。光阑片通常由多个材料组成,具有不同的折射率,通过调整光阑片在横通槽内的位置,可以实现不同直径的光阑。 三、结构设计 1.光阑片材料的选择 光...
摘要 本发明公开了一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮,其特征在于,所述限位结构包括支架面板,限位器以及密封堵头;所述驱动件设置在所述支架面板上;所述齿轮设置在所述驱动件上,并可被所述驱动件驱动;所述限位器设置在所述支架面板上,且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮...
No.40974110)文章编号1674-2915(2012)04-0401-06光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析孙振*,巩岩(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033)摘要:针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求,设计了口径为236mm、调整精度为NA±0.003的连续可变光阑...
摘要 本发明提供了一种可变光阑的控制结构,包括内置光束通道的支撑筒体,支撑筒体的光束入口设置有层叠配合的第一光阑板和第二光阑板,第一光阑板上开设有连通光束通道的第一控制窗,第二光阑板上开设有连通第一控制窗和光束通道的第二控制窗;还包括驱动第一光阑板和第二光阑板沿相反方向错位平移的驱动装置。第一光...
摘要 本发明公开了一种自动调节可变光阑光圈直径大小的结构,包括镜体(1)、电机(3)、主动轮(5)、从动轮(6)和限位螺杆(7)所述主动轮(5)设于所述电机(3)上并与所述从动轮(6)啮合,所述镜体(1)上对应所述可变光阑(2)的位置沿圆周设有弧形槽,所述从动轮(6)设于所述镜体(1)的外周,所述限位螺杆(7...
可变光阑 1. The Stabilization Analysis of Automatically Adjustable Optical intensity System Using Iris Diaphragm; 采用可变光阑的自动调光系统的稳定性分析 2. In this method,light was adjusted by combining external trigger electronic shutter mainly and iris diaphragm assistantly. 该方法采用外触发电子快门...
,同视机结构里面可变光阑的作用是()A.缩小视场,配合海丁格刷使用B.使入射光为平行光C.折射光线D.做屈光补偿
本发明公开了一种自动调节可变光阑光圈直径大小的结构,包括镜体(1)、电机(3)、主动轮(5)、从动轮(6)和限位螺杆(7)所述主动轮(5)设于所述电机(3)上并与所述从动轮(6)啮合,所述镜体(1)上对应所述可变光阑(2)的位置沿圆周设有弧形槽,所述从动轮(6)设于所述镜体(1)的外周,所
04-0401-06 光刻投影物镜可变光 阑的结构 设计 与分析 孙振,巩岩 ( 中国科学院长春光学精密 机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室, 吉林长春 130033) 摘要: 针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、 安装空间、 调整精度的要求, 设计了口径为236 mm、 调整精 度为NA ±0. 003 的连续可变光阑...