●背抛工艺:去除硅片背面的硼扩散层,保留正面的BSG层。●磷扩散(正面BSG作为掩膜):在硅片背面形成磷掺杂层,为电池背面提供电子收集能力。●去氧化层:去除硅片表面的氧化层,如BSG和PSG,以准备后续的电极接触1。●LPCVD或PECVD工艺:在硅片双面形成SiO/Poly-Si本征层,这是TOPCon电池的核心结构,用于钝化接触...