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2、湿法氧化(Wet Oxidation):湿法氧化采用水蒸气与氧气,因此氧化膜生长速度快,可形成厚膜,但与干法氧化相比,氧化层密度较低。因此,其缺点是氧化膜的质量较干法氧化较差;在相同温度和时间下,湿法氧化得到的氧化膜有较干法氧化厚5~10倍;湿法氧化特点:反应快,膜厚,氧化膜质量较差。