将PDMS切成所需的形状。 至此,我们就可以完美复制出硬模板上的微纳米结构了,后续可使用软模板进行紫外压印工作,PDMS作为软模板在纳米压印研究中非常实用,但是需要注意,这种PDMS翻制软模板对于200nm以下的结构比较困难,特别是一些高深宽比的结构尤为困难,而且PDMS在丙酮中具有溶胀特性,并不溶解,所以一旦脱模时机构断裂并...
在进行PDMS成型之前，设计模具并制作硬模板是第一步。常见的母膜有刻蚀后的硅模板、石英模板、使用LIGA工艺制成的金属模板乃至SU-8结构样品，这是一个常见的微纳加工过程，本文将不赘述。在倒模前，务必对模具表面进行修饰，以防止PDMS粘附在模具上。硅烷化处理表面，可帮助模具从PDMS中顺利脱模。进行混合...
我们前面介绍过光刻和纳米压印的关系,其中PDMS软模板在纳米压印中非常实用,另外,PDMS翻制微流控芯片具有实验简单、精度高制作快捷等优点广泛应用于科学研究中。简单来说这些过程的核心就是PDMS倒模,即使用光刻和刻蚀获得的微纳米结构硬模板,再使用PDMS复制出来对应的结构进行应用的过程。下面我们将详细介绍一下种PDMS倒模...
将PDMS切成所需的形状。 至此,我们就可以完美复制出硬模板上的微纳米结构了,后续可使用软模板进行紫外压印工作,PDMS作为软模板在纳米压印研究中非常实用,但是需要注意,这种PDMS翻制软模板对于200nm以下的结构比较困难,特别是一些高深宽比的结构尤为困难,而且PDMS在丙酮中具有溶胀特性,并不溶解,所以一旦脱模时机构断裂并...