尽管基于微机电系统(MEMS)的压力传感器已经广泛应用了几十年,但压力传感器的新趋势最近出现了,包括更高的灵敏度、更高的精度、更好的多功能性、更小的芯片尺寸和更小的封装尺寸。对性能升级的需求导致了传感器材料、设计、制造和封装方法的突破,这些突破在近几十年来频繁出现。本文综述了MEMS压力传感器的常见新趋势,...
压力传感器检测应力并将其转换为与所施加的压力强度相关的输出信号,压力換能器可将检测到的应力转换为连续电压输出(V),压力变送器则将检测到的应力转换为以毫安(mA)为单位的电流输出。压力传感器在很多监测与控制应用中得到大量的使用,在日常使用中,压力传感器可以使用许多术语来指代,例如:压力換能器、压力传...
通过应用这一高效的逆向设计方法,研究团队成功预测并实验证明了多种具备线性响应的柔性压力传感器微结构设计(如图4所示)。实验结果表明,这些传感器在动态和循环加载条件下表现出卓越的线性特性和灵敏度。尤其是,设计的线性传感器阵列在各种位置和加载条件下,均能输出与负载成正比的总电容信号,从而大幅简化了数据处理...
MS5803系列压力传感器的主要功能是将未补偿的压阻压力传感器的模拟输出电压24位数字值,以及提供一个24位数字值的温度传感器。 1.1、硬件描述 MS5803系列压力传感器是新一代高分辨率高度计传感器,它是为高度计和高度分辨率为20厘米的变压计优化。能够同时获得压力值和温度值,其中压力测量范围为10-1100mbar,温度的测量范围...
微差压压力传感器(MDPS) 微差压压力传感器通常是指能够测量10 kPa以下压力范围的传感器,这表明压力膜片上的压差通常很小。随着医疗设备的发展,对具有卓越测量分辨率、增强频率响应、缩小尺寸和成本效益的微差压压力传感器的需求不断增长。与其它压阻式压力传感器相比,微差压压力传感器的设计和制造面临着更大的挑战,特别是...
一、压力传感器电路的工作原理 压力传感器电路通过测量物体受到的压力变化,将压力信号转换为电信号。压力传感器电路内部包含一个弹性元件和一个电桥,当物体受到外力作用时,弹性元件发生形变,电桥产生电压信号,经过放大和处理后输出压力数值。与压力传感器电路相似的还有拉力传感器电路和扭力传感器电路等。二、压力传感器电路...
微差压压力传感器(MDPS) 微差压压力传感器通常是指能够测量10 kPa以下压力范围的传感器,这表明压力膜片上的压差通常很小。随着医疗设备的发展,对具有卓越测量分辨率、增强频率响应、缩小尺寸和成本效益的微差压压力传感器的需求不断增长。与其它压阻式压力传感器相比,微差压压力传感器的设计和制造面临着更大的挑战,特别是...
智能压力传感器系统设计 目录 TOC\o1-2\h\u2257智能压力传感器系统设计 1 9235摘要 1 27897关键词:传感器;AD转换电路;液晶显示 1 218781调理电路硬件设计 1 227541.1传感器电路分析 1 175721.2选用放大电路及其电路分析 2 228452传感器AD转换电路的设计 3 97342.1AD0804的外围接口的功能 3 105932.2外围电路的设计 4 ...
设计压阻式压力传感器等MEMS 设备是一项极富挑战的工作,这是因为精确描述此类设备的工作条件需要基于多个物理场的耦合分析。借助 COMSOL Multiphysics®,您便可以轻松地耦合多物理场仿真,进而便捷地测试设备性能并获取精确的分析结果。今天,我们将通过一个示例来展示软件的这一强大功能。
二、高灵敏度柔性压力传感器的设计1. 材料选择材料是决定传感器性能的关键因素之一。目前,柔性压力传感器主要采用聚酰亚胺、聚酯等聚合物材料,以及金属氧化物、石墨烯等纳米材料。这些材料具有良好的柔韧性、稳定性和导电性,能够满足高灵敏度传感器的要求。2. 结构设计结构设计是实现高灵敏度压力传感器的核心环节。常见的...