通过对散射离子能量的测量，可以确定靶原子的质量。通过对散射产额的测量，可以定量地确定靶原子的含量。通过对散射离子的能谱测量，可以确定靶原子的深度分布。学科：岩矿分析与鉴定 词目：卢瑟福背散射能谱分析 英文：Rutherford backscattering spectrometry(RBS)