卢瑟福离子背散射谱法 卢瑟福离子背散射谱法是2011年公布的材料科学技术名词。定义 测定大角度卢瑟福背散射离子的能谱，可对样品所含元素进行定性、定量和深度分布分析，以及薄膜厚度的测定。出处 《材料科学技术名词》。