已经成为中高端掩膜版基板的主流材料；按遮光膜划分，主要的种类有乳胶遮光膜和和硬质遮光膜（主要包括铬、硅、氧化铁），目前中高端掩膜版的遮光膜以硬质遮光膜中的铬材料为主；按下游应用划分，主要种类有半导体（IC）掩膜