《一种单片集成IGBT和FRD的半导体器件》涉及一种半导体器件,该半导体器件将IGBT模块封装所需的全部IGBT和FRD芯片集成在一片晶圆上,且IGBT和FRD反并联设置;晶圆的边缘部分为多级场限环区,中间部分为IGBT区和FRD区;IGBT和FRD位于同一N型衬底内,具有多级场限环的终端结构;IGBT由在衬底上依次注入发射极P阱、发射极...