半导体AMC和VOC是洁净室中常见的气态分子污染物。AMC,即Airborne Molecular Contaminants,主要包括二氧化硫、氨气、挥发性有机化合物等,它们会对半导体、磁盘驱动器及液晶显示器等高科技产品的生产造成不良影响,如降低产品成品率、导致性能退化等。而VOC,即挥发性有机化合物,也是洁净室中需要关注的一类污染物。为了确保生...