射频电源:半导体工艺控制的核心,应用于CVD薄膜沉积、刻蚀等核心环节 1)什么是射频电源?用来产生射频电功率的电源。核心作用—通过产生高频电磁场,将在低压或常压下的气体进行电离、形成等离子体。从而在腔体内部实现不同的工艺需求。 2)下游应用在哪?半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之...
射频电源:半导体工艺控制的核心,应用于CVD薄膜沉积、刻蚀等核心环节 1)什么是射频电源?用来产生射频电功率的电源。核心作用—通过产生高频电磁场,将在低压或常压下的气体进行电离、形成等离子体。从而在腔体内部实现不同的工艺需求。 2)下游应用在哪?半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之...