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真空腔体在半导体中的应用 真空腔体在半导体设备中,可用于制造半导体芯片的真空环境容器,其主要作用是,为半导体加工提供稳定的真空环境,在半导体制造中,许多工艺都需要在真空或极低压环境下进行,因为空气中的氧气、水蒸气、灰尘等杂质,会对半导体器件 - 鑫辉合创-真
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