一、明确设计原则满足洁净度要求:确保空气洁净度达到半导体生产所需的标准,如百级、千级等。温湿度控制:根据生产工艺要求,严格控制空气温度和湿度。节能降耗:在满足洁净度和温湿度要求的前提下,尽可能降低能耗。二、系统选择与配置集中式空调机组与局部净化设备结合:集中式空调机组负责整个厂房的温度和湿度控制,局部净化...
大学专业学位硕士学位论文摘 要在半导体行业中,洁净室的作用在于控制半导体产品所接触大气的洁净度及温湿 度,使产品能够在一个良好的环境空间中生产、制造,而合格的洁净室参数指标皆通过 控制洁净室空调系统来实现,因此设计一套技术先进、运行稳定可靠且维护方便的空调控制系统便成为建造半导体晶圆厂洁净室时需要考虑的...
在半导体洁净室技术论坛上,EK净化空调系统应用经理 杨卫刚以《双碳背景下半导体企业的节能减碳策略》为题做精彩报告。他指出,暖通空调系统约占电子洁净厂房建筑电能总耗的50%-70%,现场缺乏自动化能管手段,传统暖通方案亦隐藏着诸多不节能点。比如,常规暖通空调系统由一个空调设备同时承担温、湿度调节控制,属于热湿耦合...
3.有半导体制造产业实务经验及仪控整合经验者优先。 岗位职责 1.负责无尘室及空调系统的设计建造、洁净运维管理、可靠度与品质改善。 2.规划、管理无尘室及空调的运行优化、成本效益改善与节能绩效。 3.主管无尘室及有关空调的设备运维、检测仪器的校正、维保管理。 4.整合管理洁净厂房内各有关水电气化与管线设施、...
4.具基本的洁净室及空调系统建造、运维、品质管控及效益改善能力; 5.具备空调有关证照或半导体厂有关经验者尤佳。 岗位职责 1.对洁净室及空调系统的设备操作、运维、问题分析与改善方案; 2.执行洁净室及空调有关设备的建造、调试、校正、维保与品质管控; ...
洁净空调系统是半导体无尘车间中重要的空气处理设备,它可以提供恒温恒湿、洁净度高的空气环境,对于车间的压差控制也起着至关重要的作用。通过洁净空调系统的合理设计和配置,可以实现不同区域之间的压差控制,保证空气流向和压差的合理性。对于有洁净度要求的工艺区域,可以配置高风量、低阻力的送风口,而对于一般区域,可以配...
根据半导体生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求,半导体无尘车间工程分为隧洞式、开发式和微环境等,也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流电子无尘车间工程和混合流洁净室。 单向流和混合流半导体无尘车间工程的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流半导体无尘车间工程的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
工业及家用空气净化器设备及配件的开发、销售及售后服务;空气净化工程的施工;洁净无尘无菌车间的设计;建筑智能化工程、建筑装饰装修工程设计与施工;机电设备安装;通风工程施工;中央空调、环氧树脂、塑胶地板、彩钢净化板、实验室仪器设备的销售及安装。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)【已认证】商...
2024年12月12日-13日,绿色工厂洁净室技术前瞻创新论坛在苏州万豪酒店顺利召开。EK工业空调携其领先的洁净室技术低碳解决方案积极亮相本届论坛,EK工艺中温冷冻水解决方案助力半导体企业节能减碳,受到行业广泛关注。 在当前全球气候变化的严峻挑战下,实现工业领域的“双碳”目标已成为我国经济社会高质量发展的关键任务。半导...