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1.4.3 集成电路的制造成本 12 1.5 小结 12 习题12 参考文献 12 第2章 半导体衬底材料 14 2.1 相图与固溶度 14 2.2 晶体结构 18 2.3 晶体缺陷 19 2.4 晶圆制备及规格 24 2.5 清洗工艺 26 2.5.1 晶圆清洗 26 2.5.2 湿法清洗设备 28 2.5.3 其他清洗方案 31 ...
图书 > 电子与通信 > 微电子学、集成电路(IC) > 科学出版社(SCIENCE PRESS) > 半导体工艺与集成电路制造技术/韩郑生 科学出版社旗舰店 半导体工艺与集成电路制造技术/韩郑生 韩郑生等编 京东价 ¥ 促销 展开促销 配送至 --请选择-- 支持
本书将系统地介绍微电子制造科学原理与工程技术,覆盖集成电路制造所涉及的晶圆材料、扩散、氧化、离子注入、光刻、刻蚀、薄膜淀积、测试及封装等单项工艺,以及以互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路为主线的工艺集成。对单项工艺除了讲述相关的物理和化学原理外,还介绍一些相关的工艺设备。