1. 薄膜处理:射频电源主要通过磁控溅射技术实现,使靶材表面离子化,从而在半导体表面沉积薄膜。 2. 表面改性:射频电源通过对表面物理和化学性质的调控,使半导体表面产生结构性和化学性变化,从而实现半导体的表面改性和优化。 3. 清洗:射频电源通过等离子体反应可以将半导体表面的有机物和无机物去除,...