《半导体制造工艺基础》的第一章简要回顾了半导体器件和关键技术的发展历史,并介绍了基本的制造步骤。第二章涉及晶体生长技术。后面几章是按照集成电路典型制造工艺流程来安排的。第三章介绍硅的氧化技术。第四章和第五章分别讨论了光刻和刻蚀技术。第六章和第七章介绍半导体掺杂的主要技术;扩散法和离子注入法。第八...
书籍类型:Epub+Txt+pdf+mobi 发布日期:2024-10-23 连载状态:全集 书籍作者:张亚非 等 运行环境:pc/安卓/iPhone/iPad/Kindle/平板 内容简介 《半导体集成电路制造技术》半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业,本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术,既有基本原理和工艺技术的阐述,也有国内外近期发展状况介绍...