“影响磁性多层膜性能的参数有几十个,每个参数的微小变化都会影响器件的最终测试结果。”程厚义讲道,“困难超乎想象,当时也没有一个明确的工艺优化方法,只能为每个参数单独设计实验,一点一点地尝试调整参数值”。 程厚义与研制的磁控溅...