根据本实用新型的监控系统,能提示匀胶显影设备的工作条件异常,主控装置包括的存储模块能记录工作条件的异常信息,从而在设备发出异常提示时更方便对异常的分析。 在优选的实施例中,所述传感器为多个,包括:光刻胶异常检测传感器、显影液异常检测传感器、去边液异常检测传感器、漏液异常检测传感器、废胶桶异常检测传感器以及...
硅片边缘匀胶后出现毛边异常,是因为EBR药液量不足A.正确B.错误的答案是什么.用刷刷题APP,拍照搜索答疑.刷刷题(shuashuati.com)是专业的大学职业搜题找答案,刷题练习的工具.一键将文档转化为在线题库手机刷题,以提高学习效率,是学习的生产力工具