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1、划片机的四周必须保留不小于 0.5米 的无障碍空间,方便操作及维修人员 进行生产操作、保养和检修。2、划片机应安装在无明显震动、无腐蚀性气体、无强磁场的清洁室内。工作间 温度在 20～25℃之间且保持恒定;相对湿度<60%,无凝结。3、 划片机附近应设有进气管路,接口位置与设备安置地点间的距离不超过 2 米,...
晶圆划片机解决方案..方案概述定义圆划片是半导体芯片制造工艺流程中的一道必不可少的工序,在晶圆制造中属后道工序。将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片(晶粒),称之为晶圆划片。目前在一种在半导体行业内称为 GPP
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