可以看出,涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,可达10-8 pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同...
分子泵高速运动的涡轮叶片把动量传输给气体分子,携带气体分子运动,这种现象叫做分子拖动,或者叫分子牵引,利用分子牵引的原理制作的真空泵,就叫做分子牵引泵,简称分子泵。 分子泵发展 分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了,它在初期进展较缓慢,在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领...
分子泵高速运动的涡轮叶片把动量传输给气体分子,携带气体分子运动,这种现象叫做分子拖动,或者叫分子牵引,利用分子牵引的原理制作的真空泵,就叫做分子牵引泵,简称分子泵。 分子泵发展 分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了,它在初期进展较缓慢,在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等...