晶圆减薄砂轮是结合国产替代的现状，重点开发的5000#-20000#的陶瓷结合剂金刚石减薄砂轮。细粒度砂轮（5微米以细）制作的难点主要在于：1、微粉磨料的质量管控。比如金刚石微粉，5微米以细的微粉容易有大颗粒、大片，这些将严重影响加工表面质量，必须加以管控；2微米以细的微粉容易软团聚，会影响混料均匀性。另外，...